深圳奕帆科技固定式法蘭款雙氧水在線檢測儀，專為半導(dǎo)體、電子芯片制造晶圓清洗高純雙氧水工藝設(shè)計，采用潔凈級鏡面拋光 316L 不銹鋼 DN25 法蘭結(jié)構(gòu)，法蘭鏡面處理，不會殘留晶圓清洗高純藥液、無雜質(zhì)析出污染晶圓，適配半導(dǎo)體超純水系統(tǒng)、晶圓濕法蝕刻清洗管道、高純雙氧水調(diào)配罐體旁路安裝，法蘭密封采用高純 PFA 防腐墊片，耐受電子級高純雙氧水氧化腐蝕，杜絕普通橡膠墊片析出雜質(zhì)污染半導(dǎo)體生產(chǎn)線，滿足半導(dǎo)體無塵車間高潔凈、無二次污染嚴(yán)苛要求。

設(shè)備搭載低干擾微量級電化學(xué)傳感器，針對半導(dǎo)體車間低濃度雙氧水微量揮發(fā)優(yōu)化，標(biāo)準(zhǔn)量程 0-100ppm，分辨率 0.01ppm，可精準(zhǔn)捕捉清洗管道微量雙氧水揮發(fā)泄漏，T90 響應(yīng)時間≤5 秒，泄漏發(fā)生后快速預(yù)警，避免高純雙氧水腐蝕精密半導(dǎo)體設(shè)備、損傷操作人員皮膚呼吸道。

整機采用本安防爆 + 隔爆雙重防護，防爆等級 Ex d ia IIC T6 Gb，適配半導(dǎo)體潔凈防爆車間；機身 IP67 高防護，無塵車間循環(huán)風(fēng)、高壓純水沖洗環(huán)境穩(wěn)定運行；正面高清彩屏中文界面，可切換實時濃度數(shù)值、24 小時濃度曲線、設(shè)備溫濕度、傳感器剩余壽命提示，配套紅外遙控?zé)o接觸校準(zhǔn)，無塵車間無需開門拆裝儀表，避免外界粉塵進入潔凈產(chǎn)線，大幅降低潔凈區(qū)運維污染風(fēng)險。

信號輸出支持 4-20mA 模擬信號、RS485 Modbus、可選 4G 無線傳輸，可對接半導(dǎo)體產(chǎn)線 PLC、工廠智能中控平臺、潔凈區(qū)排風(fēng)系統(tǒng)，兩路繼電器聯(lián)動潔凈區(qū)變頻排風(fēng)風(fēng)機，管道雙氧水微量泄漏濃度超標(biāo)時，自動加大潔凈車間換氣風(fēng)量，快速降低空氣中雙氧水殘留濃度，保障無塵車間人員作業(yè)安全。設(shè)備 24VDC 低功耗穩(wěn)定供電，7×24 小時不間斷在線監(jiān)測，內(nèi)置存儲模塊自動存儲濃度、報警、校準(zhǔn)數(shù)據(jù)，支持?jǐn)?shù)據(jù)導(dǎo)出用于半導(dǎo)體產(chǎn)線工藝優(yōu)化、潔凈區(qū)安全臺賬留存。

奕帆半導(dǎo)體晶圓清洗高純雙氧水監(jiān)測儀廠家可根據(jù)半導(dǎo)體管道規(guī)格定制 DN15/DN20/DN40 潔凈法蘭，出廠附帶潔凈度檢測報告、防爆證書、計量校準(zhǔn)證書，提供半導(dǎo)體無塵車間上門安裝、潔凈區(qū)專屬調(diào)試、季度上門標(biāo)定、技術(shù)售后，專為半導(dǎo)體晶圓清洗高純雙氧水微量監(jiān)測打造。

奕帆半導(dǎo)體晶圓清洗高純雙氧水監(jiān)測儀廠家